真空泵机组不能单独使用，必须和前级真空泵组成机组形式才能使用。根据不同的工艺要求和不同的前级泵配置，真空泵机组可由一台或多台真空泵和前级泵组成多级罗茨真空泵机组。
真空泵机组如采用了水环真空泵作为前级泵，将特别适用于抽吸湿度较大的气体和含有较多水蒸汽及有一定腐蚀性和可凝性气体的工业流程中。
真空泵机组适用于抽吸空气及其它无可凝性及无腐蚀性的气体，广泛应用于需要大抽速和需要获得低真空、高真空的各种真空系统中。
