各种真空泵的极限压强和启动压强范围表

来源：互联网   发布日期：2014/9/3

各种真空泵的极限压强和启动压强范围表

真空泵种类	工作压强范围（Pa）	起动压强（Pa）
活塞式真空泵	1×105～1.3×102	1×105
旋片式真空泵	1×105—6.7×10-1	1×105
水环式真空泵	1×105—2.7×103	1×105
涡轮分子泵	1.3—1.3×10-5	1.3
罗茨真空泵	1.3×103—1.3	1.3×103
水蒸气喷射泵	1×105—1.3×10-1	1×105
油扩散泵	1.3×10-2—1.3×10-7	1.3×10
油蒸气喷射泵	1.3×10—1.3×10-2	<1×105
分子筛吸附泵	1×105—1.3×10-1	1×105
溅射离子泵	1.3×10-3—1.3×10-9	6.7×10-1
钛升华泵	1.3×10-2—1.3×10-9	1.3×10-2
锆铝吸气剂泵	1.3×10—1.3×10-11	1.3×10
低温泵	1.3—1.3×10-11	1.3—1.3×10

从图表中我们可以看出，有的泵必须要前级泵才能启动，像罗茨真空泵产品。而且有的真空泵启动要求非常高，像实验室用的比较多的分子泵产品。



























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